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托驰(上海)工业传感器有限公司

产品信息


首页>> 产品展示 >> 日本横河 >> OX400低浓度氧化锆氧分析仪

产品名称:OX400低浓度氧化锆氧分析仪
产品型号:OX400
生产厂商:日本横河
产品数量:不限
产品单价:电议

产品介绍



横河电机推出的氧分析仪OX400,是公司在该技术的长期经验积累和业绩基础上研发出来的。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了薄膜沉积技术,在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离,还可以减小传感器尺寸,确保高速响应和长寿命。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。

用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制

用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量

测量氧气浓度,防止粉尘运输中粉尘爆炸

特性

使用寿命长,响应速度快

 

由于使用了横河电机的薄膜沉积技术,传感器的寿命周期提高了三倍

圆柱形传感器设计便于置换被测气体,确保高速响应

高性能和高可靠性

 

即使在低氧浓度下,仍具有极高的精度和线性

在不同应用中,可选择泵式或抽提采样方式

内置功能和多种自诊断功能

 

自带多选择器,自动量程,特定量程以及泵开/关功能

提供多种自诊断功能,以检测故障,如加热器温度错误,温度传感器断偶和传感器电阻值错误

出众的维护性

 

可现场更换传感器

小型轻量,易于安装

规格

测量对象 惰性气体中的氧气浓度
(易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)
测量系统 氧化锆系统
采样方法 泵式,抽提式等
样气条件 流速: 200 ± 25ml/min(仅用于传感器)
温度: 0~50℃(无结露)
湿度: 无结露
压力: 0~300PaG
容许压力: 30kPaG
测量量程 0-10ppm O2至0-100vol% O2
输出量程
自动: 0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,0-(默认)其他: 可设为0- 0ppm,0- 00ppm,0-000 ppm,0- %,0- 0%,0-,1~9的整数
固定: 设为0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,或0-
部分: 可设置下限值或上限值
模拟输出 2路输出,
一次: 4~20mA DC(负载电阻: 550Ω)
二次: 可选为0~1,0~5,0~10V DC(负载电阻: 10kΩ或更大)
接点输出
报警输出2点: 错误接点,O2浓度报警接点
指定量程范围输出1点: 接点输出
多选择器(选配件): 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出
接点输入 1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF
自诊断
错误(故障): 传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止
报警(警告): 加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限
串口通信 RS-232,38400 bps
标定方法 (1)3点: 10ppm,1000ppm,空气,(2)2点: 可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定
暖机时间 20分以内
电源 100 - 120V AC/220 - 240V AC,50/60Hz
功耗 100~120V AC,200VA ,220~240V AC,400 VA
尺寸 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm
质量 约5kg
管线连接 气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹
气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹
环境条件
安装条件: 室内,盘装或壁装,非易燃区域
环境温度: 0~40℃,无结露
环境湿度: 5~85%RH
储存温度: -5~50℃
符合的安全标准
和EMC标准
安全标准: 61010-1:2001
EMC: EN 61326-1 Class A,Table 2(用于工业现场) EN 61326-2-3,EN 61000-3-2,EN 61000-3-3

特性

重复性 ±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或)
线性 ±2%F.S.
±3%F.S.(0~100ppm或更低)
响应时间 90%响应
10秒内(0~1%或更高)
30秒内(小于0~1%)
漂移 ±2%F.S./周

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